1) 사양

 적용 공정 : 증착공정 , 인켑공정

 글라스 사이즈 : G8 ( 2200 * 2500 )

 측정항목 : 엘립소미터 장착 ( HORIBA ) 유기박막두께 측정

                2D 검사현미경 장착 : Shadow 폭 측정

                4PP  장착 : 금속 박막의 면저항 측정

 Chamber : purifire N2 퍼징

 특징 : 생산 공정에 설치되어 자동 측정이 가능하고 측정데이터 전송 및 관리

2) F.O.V 확인 결과

 시료 : Non Pattern Sample

 확인 내용 : 대상 시료의 Dep. Edge Vision Image로 확인

 기존 카메라(1/3") & 렌즈(2.5x) 기준으로 Dep. Edge Monitoring Range를 확보하기가 어렵다고 판단됨.

3) 사전 샘플 확인 결과